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主軸部件是保證水刀及超精密機床加工精度的核心。超精密加工對主軸的要求是極高的回轉(zhuǎn)精度和轉(zhuǎn)動平穩(wěn)以及無振動。滿足了這些要求關鍵是所用的精密軸承。早期的精密主軸采用超精密級的滾動軸承，例如瑞士Schaublin、美國的Hardinge等精密機床，主軸用特制的超精密軸承，整臺機床制造精度很高，因此機床加工精度可達1μm，加工表面的粗糙度可以達到了0.04 - 0.02μm。但是高精度的滾動軸承主軸的制造的困難，所以在現(xiàn)在實際上多使用液體靜壓軸承和空氣靜壓軸承。

1.液體靜壓軸承主軸

液體靜壓軸承具有回轉(zhuǎn)精度高(0.1μm)、剛度較高、轉(zhuǎn)動平穩(wěn)華人無振動的等基本的特點，所以人們被廣泛用于超精密機床。液體靜壓軸承主要缺點包括了：

（1)液體的靜壓軸承的油溫隨著轉(zhuǎn)速的升高而進行相應的升高。溫度的升高將造成熱的變形，影響了主軸精度。

（2)靜壓的油回油時將空氣帶入油源，形成微小氣泡懸浮在油中，不易排出，因而降低了液體靜壓軸承的剛度和動特性。

2.空氣靜壓軸承主軸

空氣靜壓軸承的工作原理和液體靜壓軸承相同。空氣靜壓軸承具有很高的回轉(zhuǎn)精度，在高速轉(zhuǎn)動時溫升的甚小，基本可以達到恒溫的狀態(tài)，因此造成的熱變形誤差很小。但是與液體靜壓軸承相比，空氣軸承剛度低，承受載荷較小。由于超精密加工的切削力很小，所以空氣的軸承可以滿足了相關的要求，所以說在超精密機床中得到廣泛的應用。以下是幾種典型的結(jié)構(gòu)。

(1)雙半球空氣軸承主軸該主軸前后軸承均為半球狀，同時起徑向軸承和推力軸承的作用，如圖2-9所示。由于軸承的球形氣浮面具有自動調(diào)心作用，因此可以提高前后軸承的同心度，以提高主軸的同轉(zhuǎn)精度。該主軸采用內(nèi)裝式，即電動機的轉(zhuǎn)子直接與主軸剛性聯(lián)接，所以電動機的轉(zhuǎn)子的回轉(zhuǎn)精度將對主軸的回轉(zhuǎn)精度而進行產(chǎn)生的影響和作用。

(2)徑向推力空氣靜壓軸承主軸徑向一止推空氣靜壓軸承主軸結(jié)構(gòu)，它是在液體靜壓軸承主軸結(jié)構(gòu)基礎上發(fā)展起來的，只是節(jié)流孔和氣腔大小形狀不同；在了解了超精密機床及其關鍵部件之后，我們便應該知道的是該結(jié)構(gòu)中徑向軸承的外鼓形軸套可起自動調(diào)整定心作用，具體方法是先通氣使軸套自動將位置調(diào)好后再固定。這樣可提高前后軸套的同心度，從而保證主軸的回轉(zhuǎn)精度。該空氣軸承采用多孔石墨作空氣節(jié)流的軸襯，使用這種軸襯在沒有空氣狀態(tài)下，即使軸發(fā)生少量旋轉(zhuǎn)，也不會因和軸套咬住而損壞主軸。但這種主軸要求所用的多孔石墨組織均勻，各處透氣率相同，同時制造難度大。目前國外很多空氣軸承都使用多孔石墨來作空氣節(jié)流。

（3)球形一徑向空氣軸承主軸這種結(jié)構(gòu)的主軸，前端球形同時起到徑向軸承和軸向推力軸承作用，并具有自動調(diào)心作用，保證了前后軸承（圓柱徑向軸承）的同心度，從而提高了主軸回轉(zhuǎn)精度。

這種球形軸承主軸的剛度和承載能力均不高，可以通過優(yōu)化軸承參數(shù)提高其剛度和承載能力。若有更高要求，則需加大軸承尺寸。

類似立式水刀機床的立式空氣軸承，主軸立式結(jié)構(gòu)空氣軸承主軸，這種結(jié)構(gòu)實際上主要在用于了大型的超精密的車床，從而保證了加工的系統(tǒng)具有非常高的剛度，且便于零件的裝夾：其圓弧面的徑向軸承起到自動的調(diào)心、提高了精度的作用。